Micro-electromechanical systems (MEMS) technology一Micro-pillar compression test for MEMS materials
国家标准 推荐性 即将实施
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、上海交通大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、东南大学、苏州慧闻纳米科技有限公司、中关村光电产业协会、工业和信息化部电子第五研究所、昆山双桥传感器测控技术有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、深圳市道格特科技有限公司。
主要起草人周维虎 、李根梓 、孙宏霖 、刘胜 、霍树春 、高成臣 、刘景全 、陈立国 、杨剑宏 、陈志文 、焦斌斌 、黄庆安 、聂萌 、张平平 、陈晓梅 、卢永红 、陈思 、王冰 、谢红梅 、刘志广 。
本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-10:2011。
采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第10部分：MEMS材料微柱压缩试验方法。
中国科学院微电子研究所
苏州容启传感器科技有限公司
北京大学
昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司
东南大学
中关村光电产业协会
昆山双桥传感器测控技术有限公司
深圳市道格特科技有限公司
中机生产力促进中心有限公司
武汉大学
上海交通大学
苏州晶方半导体科技股份有限公司
苏州慧闻纳米科技有限公司
工业和信息化部电子第五研究所
芯联集成电路制造股份有限公司
周维虎
李根梓
霍树春
高成臣
杨剑宏
陈志文
聂萌
张平平
陈思
王冰
孙宏霖
刘胜
刘景全
陈立国
焦斌斌
黄庆安
陈晓梅
卢永红
谢红梅
刘志广
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微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
数据严谨精准
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独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
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