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300mm半导体设备装载端口要求

Requirements for load ports of 300mm semiconductor equipment

国家标准 推荐性 即将实施

国家标准《300mm半导体设备装载端口要求》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位上海微电子装备(集团)股份有限公司中国电子技术标准化研究院北京北方华创微电子装备有限公司中微半导体设备(上海)股份有限公司漳州市太龙照明工程有限公司深圳市埃芯半导体科技有限公司苏州镁伽科技有限公司中电鹏程智能装备有限公司

主要起草人胡松立李运锋吴怡然曹可慰赵俊莎周晓锋李殿浦武小娟朱明李英张宝帅洪峰张志勇乔志新王鸣昕

基础信息

  • 标准号: GB/T 44375-2024
  • 发布日期: 2024-08-23
  • 实施日期: 2025-03-01
  • 部分代替标准: 暂无
  • 全部代替标准: 暂无
  • 标准类别: 基础
  • 中国标准分类号: L97
  • 国际标准分类号: <span>31电子学</span><span>31.260光电子学、激光设备</span>
  • 归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 执行单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 主管部门: 国家标准委

采标情况

暂无

起草单位

上海微电子装备(集团)股份有限公司

北京北方华创微电子装备有限公司

漳州市太龙照明工程有限公司

苏州镁伽科技有限公司

中国电子技术标准化研究院

中微半导体设备(上海)股份有限公司

深圳市埃芯半导体科技有限公司

中电鹏程智能装备有限公司

起草人

胡松立

李运锋

赵俊莎

周晓锋

朱明

李英

张志勇

乔志新

吴怡然

曹可慰

李殿浦

武小娟

张宝帅

洪峰

王鸣昕

相近标准

SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范

GB/T 29504-2013 300mm 硅单晶

GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片

YD/T 2813-2015 基于端口控制协议(PCP)扩展的LAFT6端口区间集扩展协议技术要求

GB/T 29508-2013 300mm 硅单晶切割片和磨削片

SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求

YD/T 2934-2015 端口控制协议(PCP)技术要求

YD/T 4799-2024 端口控制协议代理(PCP proxy)技术要求

YD/T 2809-2015 基于端口信息下发的双栈接入技术要求

YD/T 3233-2017 支持分配端口段的DHCPv4选项技术要求

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