Superabrasive products—Precision grinding wheels for semiconductor wafers
国家标准 推荐性 即将实施
国家标准《超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮》由TC139(全国磨料磨具标准化技术委员会)归口,TC139SC3(全国磨料磨具标准化技术委员会超硬材料及制品分会)执行,主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位郑州磨料磨具磨削研究所有限公司、江苏赛扬精工科技有限责任公司、华侨大学、北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司、江苏三晶半导体材料有限公司、青岛高测科技股份有限公司、广东奔朗新材料股份有限公司。
主要起草人包华 、赵延军 、陈卫东 、黄国钦 、刘一波 、邹余耀 、张秀涛 、陶洪亮 、谷春青 、韩欣 、丁玉龙 、李国伟 、牛俊凯 、张良 、叶腾飞 、王礼华 、朱亮 、杨松彬 、尹玉龙 。
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
华侨大学
江苏三晶半导体材料有限公司
广东奔朗新材料股份有限公司
江苏赛扬精工科技有限责任公司
北京安泰钢研超硬材料制品有限责任公司
青岛高测科技股份有限公司
包华
赵延军
刘一波
邹余耀
谷春青
韩欣
牛俊凯
张良
朱亮
杨松彬
陈卫东
黄国钦
张秀涛
陶洪亮
丁玉龙
李国伟
叶腾飞
王礼华
尹玉龙
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