Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry
国家标准 推荐性 即将实施
国家标准《碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》由TC57(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会)归口,TC57SC10(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会)执行,主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司。
主要起草人段海涛 、贾丹 、曹一莹 、张心凤 、沈学忠 、高明 、詹胜鹏 、凃杰松 、王彦峰 、王流火 、杨田 、陈辉 、骆小双 、尤锦鸿 、易娟 、苏东艺 。
本标准修改采用ISO国际标准:ISO 23216:2021。
采标中文名称:碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能。
中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司
安徽纯源镀膜科技有限公司
广东电网有限责任公司
纳狮新材料有限公司
中国科学院深圳先进技术研究院
广州今泰科技股份有限公司
段海涛
贾丹
沈学忠
高明
王彦峰
王流火
骆小双
尤锦鸿
曹一莹
张心凤
詹胜鹏
凃杰松
杨田
陈辉
易娟
苏东艺
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