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碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能

Carbon based films—Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectfoscopic ellipsometry

国家标准 推荐性 即将实施

国家标准《碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能》由TC57(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会)归口,TC57SC10(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会)执行,主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司、纳狮新材料有限公司、安徽纯源镀膜科技有限公司、中国科学院深圳先进技术研究院、广东电网有限责任公司、广州今泰科技股份有限公司。

主要起草人段海涛 、贾丹 、曹一莹 、张心凤 、沈学忠 、高明 、詹胜鹏 、凃杰松 、王彦峰 、王流火 、杨田 、陈辉 、骆小双 、尤锦鸿 、易娟 、苏东艺 。

基础信息

  • 标准号: GB/T 44538-2024
  • 发布日期: 2024-09-29
  • 实施日期: 2025-04-01
  • 部分代替标准: 暂无
  • 全部代替标准: 暂无
  • 标准类别: 基础
  • 中国标准分类号: A29
  • 国际标准分类号: <span>25机械制造</span><span>25.220表面处理和镀涂</span><span>25.220.99其他处理和镀涂</span>
  • 归口单位: 全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
  • 执行单位: 全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会气相沉积分会
  • 主管部门: 中国机械工业联合会

采标情况

本标准修改采用ISO国际标准:ISO 23216:2021。

采标中文名称:碳基薄膜 椭偏光谱法测定非晶态碳基薄膜的光学性能。

起草单位

中国机械总院集团武汉材料保护研究所有限公司

安徽纯源镀膜科技有限公司

广东电网有限责任公司

纳狮新材料有限公司

中国科学院深圳先进技术研究院

广州今泰科技股份有限公司

起草人

段海涛

贾丹

沈学忠

高明

王彦峰

王流火

骆小双

尤锦鸿

曹一莹

张心凤

詹胜鹏

凃杰松

杨田

陈辉

易娟

苏东艺

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