Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
国家标准 推荐性 即将实施
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。
主要起草单位昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、中用科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、苏州大学、成都航天凯特机电科技有限公司、武汉大学、北京智芯微电子科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、昆山双桥传感器测控技术有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、中国科学院微电子研究所、重庆宸硕测控技术有限公司、苏州市质量和标准化院、苏州慧闻纳米科技有限公司、上海新微技术研发中心有限公司、苏州科技大学、苏州晶方半导体科技股份有限公司、太原航空仪表有限公司、山东中科思尔科技有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司、河北初光汽车部件有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、芜湖乐佳电器有限公司。
主要起草人陈立国 、江大白 、李根梓 、刘会聪 、蒋礼平 、刘胜 、方东明 、夏长奉 、王冰 、周维虎 、许宙 、钟鸣 、张硕 、孙旭辉 、夏燕 、娄亮 、程新利 、杨剑宏 、陈志文 、张中飞 、胡增 、商艳龙 、王阳俊 、高峰 、卢弈鹏 、袁长作 、仲胜利 、李海全 、钱勇国 。
本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-37:2020。
采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第37部分：传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法。
昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司
中机生产力促进中心有限公司
成都航天凯特机电科技有限公司
北京智芯微电子科技有限公司
昆山双桥传感器测控技术有限公司
中国科学院微电子研究所
苏州市质量和标准化院
上海新微技术研发中心有限公司
苏州晶方半导体科技股份有限公司
山东中科思尔科技有限公司
河北初光汽车部件有限公司
芜湖乐佳电器有限公司
中用科技有限公司
苏州大学
武汉大学
无锡华润上华科技有限公司
深圳市美思先端电子有限公司
重庆宸硕测控技术有限公司
苏州慧闻纳米科技有限公司
苏州科技大学
太原航空仪表有限公司
明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司
广东润宇传感器股份有限公司
陈立国
江大白
蒋礼平
刘胜
王冰
周维虎
张硕
孙旭辉
程新利
杨剑宏
胡增
商艳龙
卢弈鹏
袁长作
钱勇国
李根梓
刘会聪
方东明
夏长奉
许宙
钟鸣
夏燕
娄亮
陈志文
张中飞
王阳俊
高峰
仲胜利
李海全
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微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
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严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务领域广泛
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