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微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application

国家标准 推荐性 即将实施

国家标准《微机电系统(MEMS)技术 传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司中用科技有限公司中机生产力促进中心有限公司苏州大学成都航天凯特机电科技有限公司武汉大学北京智芯微电子科技有限公司无锡华润上华科技有限公司昆山双桥传感器测控技术有限公司深圳市美思先端电子有限公司中国科学院微电子研究所重庆宸硕测控技术有限公司苏州市质量和标准化院苏州慧闻纳米科技有限公司上海新微技术研发中心有限公司苏州科技大学苏州晶方半导体科技股份有限公司太原航空仪表有限公司山东中科思尔科技有限公司明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司河北初光汽车部件有限公司广东润宇传感器股份有限公司芜湖乐佳电器有限公司

主要起草人陈立国江大白李根梓刘会聪蒋礼平刘胜方东明夏长奉王冰周维虎许宙钟鸣张硕孙旭辉夏燕娄亮程新利杨剑宏陈志文张中飞胡增商艳龙王阳俊高峰卢弈鹏袁长作仲胜利李海全钱勇国

基础信息

  • 标准号: GB/T 44513-2024
  • 发布日期: 2024-09-29
  • 实施日期: 2025-01-01
  • 部分代替标准: 暂无
  • 全部代替标准: 暂无
  • 标准类别: 方法
  • 中国标准分类号: L59
  • 国际标准分类号: <span>31电子学</span><span>31.080半导体分立器件</span><span>31.080.99其他半导体分立器件</span>
  • 归口单位: 全国微机电技术标准化技术委员会
  • 执行单位: 全国微机电技术标准化技术委员会
  • 主管部门: 国家标准委

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准:IEC 62047-37:2020。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第37部分:传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法。

起草单位

昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司

中机生产力促进中心有限公司

成都航天凯特机电科技有限公司

北京智芯微电子科技有限公司

昆山双桥传感器测控技术有限公司

中国科学院微电子研究所

苏州市质量和标准化院

上海新微技术研发中心有限公司

苏州晶方半导体科技股份有限公司

山东中科思尔科技有限公司

河北初光汽车部件有限公司

芜湖乐佳电器有限公司

中用科技有限公司

苏州大学

武汉大学

无锡华润上华科技有限公司

深圳市美思先端电子有限公司

重庆宸硕测控技术有限公司

苏州慧闻纳米科技有限公司

苏州科技大学

太原航空仪表有限公司

明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司

广东润宇传感器股份有限公司

起草人

陈立国

江大白

蒋礼平

刘胜

王冰

周维虎

张硕

孙旭辉

程新利

杨剑宏

胡增

商艳龙

卢弈鹏

袁长作

钱勇国

李根梓

刘会聪

方东明

夏长奉

许宙

钟鸣

夏燕

娄亮

陈志文

张中飞

王阳俊

高峰

仲胜利

李海全

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