Nanotechnologies—Description, measurement and dimensional quality parameters of gratings
国家标准 指导性 现行
国家标准《纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国科学院。
主要起草单位中国计量科学研究院、北京大学、清华大学、苏州苏大维格科技集团股份有限公司、广纳四维(广东)光电科技有限公司。
主要起草人李伟 、李适 、朱振东 、李群庆 、陈林森 、李晓军 、高思田 、李琪 、施玉书 、黄鹭 、史瑞 、乔文 、华鉴瑜 。
本标准等同采用IEC国际标准:IEC TS 62622:2012。
采标中文名称:纳米技术 人造光栅的描述,测量和尺寸质量参数。
中国计量科学研究院
清华大学
广纳四维(广东)光电科技有限公司
北京大学
苏州苏大维格科技集团股份有限公司
李伟
李适
陈林森
李晓军
施玉书
黄鹭
华鉴瑜
朱振东
李群庆
高思田
李琪
史瑞
乔文
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