Surface chemical analysis—Scanning probe microscopy—Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
国家标准 推荐性 现行
国家标准《表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准》由TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口，主管部门为中国科学院。
主要起草单位中山大学、广东工业大学、暨南大学。
主要起草人龚力 、杨慕紫 、陈瑜 、张浩 、谢伟广 、谢方艳 、丁喜冬 、陈建 。
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 13083:2015。
采标中文名称:表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准。
中山大学
暨南大学
广东工业大学
龚力
杨慕紫
谢伟广
谢方艳
陈瑜
张浩
丁喜冬
陈建
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