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微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips

国家标准 推荐性 现行

国家标准《微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位广东省科学院工业分析检测中心、南方科技大学、胜科纳米(苏州)股份有限公司。

主要起草人伍超群 、于洪宇 、乔明胜 、陈文龙 、周鹏 、邱杨 、黄晋华 、汪青 、程鑫 。

基础信息

  • 标准号: GB/T 43748-2024
  • 发布日期: 2024-03-15
  • 实施日期: 2024-10-01
  • 部分代替标准: 暂无
  • 全部代替标准: 暂无
  • 标准类别: 方法
  • 中国标准分类号: N 33
  • 国际标准分类号: <span>71化工技术</span><span>71.040分析化学</span><span>71.040.40化学分析</span>
  • 归口单位: 全国微束分析标准化技术委员会
  • 执行单位: 暂无
  • 主管部门: 全国微束分析标准化技术委员会

采标情况

暂无

起草单位

广东省科学院工业分析检测中心

胜科纳米(苏州)股份有限公司

南方科技大学

起草人

伍超群

于洪宇

周鹏

邱杨

程鑫

乔明胜

陈文龙

黄晋华

汪青

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