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微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法

Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips

国家标准 推荐性 现行

国家标准《微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位广东省科学院工业分析检测中心南方科技大学胜科纳米(苏州)股份有限公司

主要起草人伍超群于洪宇乔明胜陈文龙周鹏邱杨黄晋华汪青程鑫

基础信息

  • 标准号: GB/T 43748-2024
  • 发布日期: 2024-03-15
  • 实施日期: 2024-10-01
  • 部分代替标准: 暂无
  • 全部代替标准: 暂无
  • 标准类别: 方法
  • 中国标准分类号: N 33
  • 国际标准分类号: <span>71化工技术</span><span>71.040分析化学</span><span>71.040.40化学分析</span>
  • 归口单位: 全国微束分析标准化技术委员会
  • 执行单位: 暂无
  • 主管部门: 全国微束分析标准化技术委员会

采标情况

暂无

起草单位

广东省科学院工业分析检测中心

胜科纳米(苏州)股份有限公司

南方科技大学

起草人

伍超群

于洪宇

周鹏

邱杨

程鑫

乔明胜

陈文龙

黄晋华

汪青

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