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直写成像式曝光设备

Direct writing imaging exposure equipment

国家标准 推荐性 现行

国家标准《直写成像式曝光设备》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准委。

主要起草单位合肥芯碁微电子装备股份有限公司广州兴森快捷电路科技有限公司安徽省工业和信息化研究院深南电路股份有限公司四创电子股份有限公司中国电子技术标准化研究院合肥矽迈微电子科技有限公司深圳市克洛诺斯科技有限公司深圳拜波赫技术有限公司

主要起草人何少锋陈新邱醒亚乔书晓沈桂珍朱颖陈黎阳方林曲鲁杰许静平陈东崔良端陆培良吴怡然曹可慰赵俊莎李香滨严孝年鲁男李娜李照辉吴新民

基础信息

  • 标准号: GB/T 43725-2024
  • 发布日期: 2024-03-15
  • 实施日期: 2024-10-01
  • 部分代替标准: 暂无
  • 全部代替标准: 暂无
  • 标准类别: 产品
  • 中国标准分类号: L97
  • 国际标准分类号: <span>31电子学</span><span>31.260光电子学、激光设备</span>
  • 归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 执行单位: 暂无
  • 主管部门: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

采标情况

暂无

起草单位

合肥芯碁微电子装备股份有限公司

安徽省工业和信息化研究院

四创电子股份有限公司

合肥矽迈微电子科技有限公司

深圳拜波赫技术有限公司

广州兴森快捷电路科技有限公司

深南电路股份有限公司

中国电子技术标准化研究院

深圳市克洛诺斯科技有限公司

起草人

何少锋

陈新

沈桂珍

朱颖

曲鲁杰

许静平

陆培良

吴怡然

李香滨

严孝年

李照辉

吴新民

邱醒亚

乔书晓

陈黎阳

方林

陈东

崔良端

曹可慰

赵俊莎

鲁男

李娜

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CMA检测资质

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数据严谨精准

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严格按照法律法规和行业标准行事,不受任何外部干扰,真实反映实际情况,出具的检测报告具有权威性和公信力。

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步入式恒温恒湿试验箱

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电感耦合等离子体光谱仪

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微析研究所是先进材料科学、环境环保、生物医药研发及CMC药学研究、一般消费品质量服务、化妆品研究服务、工业品服务和工程质量保证服务的全球检验检测认证 (TIC)服务提供者。微析研究所提供超过25万种分析方法的组合,为客户实现产品或组织的安全性、合规性、适用性以及持续性的综合检测评价服务。微析研究所用精准及时的结果、高质量的创新服务和专业的技术经验,为客户打造独特的分析解决方案和广泛适用的质量保证方法。

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