Test method for measuring surface metal contamination on semiconductor wafers —Total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy
国家标准 推荐性 即将实施
国家标准《半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位有研半导体硅材料股份公司、天通银厦新材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、北京通美晶体技术股份有限公司、深圳牧野微电子技术有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、广东天域半导体股份有限公司、江苏华兴激光科技有限公司、江苏芯梦半导体设备有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、深圳市深鸿盛电子有限公司、深圳市晶导电子有限公司、湖南德智新材料有限公司。
主要起草人宁永铎 、孙燕 、贺东江 、李素青 、朱晓彤 、康森 、靳慧洁 、孙韫哲 、潘金平 、任殿胜 、张海英 、何凌 、丁雄杰 、刘薇 、沈演凤 、廖周芳 、赵丽丽 、张西刚 、赖辉朋 、廖家豪 。
有研半导体硅材料股份公司
浙江海纳半导体股份有限公司
深圳牧野微电子技术有限公司
有色金属技术经济研究院有限责任公司
江苏华兴激光科技有限公司
哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
深圳市晶导电子有限公司
天通银厦新材料有限公司
北京通美晶体技术股份有限公司
浙江金瑞泓科技股份有限公司
广东天域半导体股份有限公司
江苏芯梦半导体设备有限公司
深圳市深鸿盛电子有限公司
湖南德智新材料有限公司
宁永铎
孙燕
朱晓彤
康森
潘金平
任殿胜
丁雄杰
刘薇
赵丽丽
张西刚
贺东江
李素青
靳慧洁
孙韫哲
张海英
何凌
沈演凤
廖周芳
赖辉朋
廖家豪
GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
YS/T 27-1992 晶片表面微粒沾污测量和计数的方法
GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定
20240410-T-607 家具涂层中重金属元素的快速测定 X射线荧光光谱法
GB/T 42360-2023 表面化学分析 水的全反射X射线荧光光谱分析
SH/T 0934-2016 石油焦中痕量金属元素的测定 波长色散X射线荧光光谱法
YB/T 4907-2021 锰铁、锰硅合金和金属锰 锰、硅、铁、磷含量的测定 波长色散X射线荧光光谱法
GB/T 18043-2013 首饰 贵金属含量的测定 X射线荧光光谱法
GB/T 26050-2024 硬质合金 金属元素含量的测定 X射线荧光光谱法
CMA检测资质
微析院所经过严格的审核程序，获得了CMA资质认证成为正规的检测机构，不出具CMA检测报告的机构请斟酌。
数据严谨精准
提供精准的数据支持，建立了完善的数据管理系统，对每个检测项目数据进行详细记录与归档，以便随时查阅追溯。
独立公正立场
严格按照法律法规和行业标准行事，不受任何外部干扰，真实反映实际情况，出具的检测报告具有权威性和公信力。
服务领域广泛
服务领域广泛，涉及众多行业。食品、环境、医药、化工，还是建筑、电子、机械等领域，都能提供专业检测服务。
实验室环境-1
实验室环境-2
实验室环境-3
实验室环境-4
实验室环境-5
实验室环境-6
机构质检技术员-1
机构质检技术员-2
机构质检技术员-3
机构质检技术员-4
机构质检技术员-5
机构质检技术员-6
步入式恒温恒湿试验箱
电感耦合等离子体光谱仪
高效液相色谱仪
流式细胞仪
气相色谱仪
万能力学试验仪
只需4步，轻松拿到证书报告
微析研究所总部位于北京，拥有数家国内检测、检验（监理）、认证、研发机构，1家欧洲（荷兰）检验、检测、认证机构，以及19家国内分支机构。微析研究所拥有35000+平方米检测实验室，超过2000人的技术服务团队。
业务领域覆盖全国，专注为高分子材料、金属、半导体、汽车、医疗器械等行业提供大型仪器测试(光谱、能谱、质谱、色谱、核磁、元素、离子等测试服务)、性能测试、成分检测等服务；致力于化学材料、生物医药、医疗器械、半导体材料、新能源、汽车等领域的专业研究，为相关企事业单位提供专业的技术服务。
微析研究所是先进材料科学、环境环保、生物医药研发及CMC药学研究、一般消费品质量服务、化妆品研究服务、工业品服务和工程质量保证服务的全球检验检测认证 (TIC)服务提供者。微析研究所提供超过25万种分析方法的组合，为客户实现产品或组织的安全性、合规性、适用性以及持续性的综合检测评价服务。微析研究所用精准及时的结果、高质量的创新服务和专业的技术经验，为客户打造独特的分析解决方案和广泛适用的质量保证方法。
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