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半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法

Test method for measuring surface metal contamination on semiconductor wafers —Total reflection X-Ray fluorescence spectroscopy

国家标准 推荐性 即将实施

国家标准《半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准委。

主要起草单位有研半导体硅材料股份公司天通银厦新材料有限公司浙江海纳半导体股份有限公司北京通美晶体技术股份有限公司深圳牧野微电子技术有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司广东天域半导体股份有限公司江苏华兴激光科技有限公司江苏芯梦半导体设备有限公司哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司深圳市深鸿盛电子有限公司深圳市晶导电子有限公司湖南德智新材料有限公司

主要起草人宁永铎孙燕贺东江李素青朱晓彤康森靳慧洁孙韫哲潘金平任殿胜张海英何凌丁雄杰刘薇沈演凤廖周芳赵丽丽张西刚赖辉朋廖家豪

基础信息

  • 标准号: GB/T 24578-2024
  • 发布日期: 2024-07-24
  • 实施日期: 2025-02-01
  • 部分代替标准: 暂无
  • 全部代替标准: GB/T 24578-2015,GB/T 34504-2017
  • 标准类别: 方法
  • 中国标准分类号: H21
  • 国际标准分类号: <span>77冶金</span><span>77.040金属材料试验</span>
  • 归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 执行单位: 暂无
  • 主管部门: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

采标情况

暂无

起草单位

有研半导体硅材料股份公司

浙江海纳半导体股份有限公司

深圳牧野微电子技术有限公司

有色金属技术经济研究院有限责任公司

江苏华兴激光科技有限公司

哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司

深圳市晶导电子有限公司

天通银厦新材料有限公司

北京通美晶体技术股份有限公司

浙江金瑞泓科技股份有限公司

广东天域半导体股份有限公司

江苏芯梦半导体设备有限公司

深圳市深鸿盛电子有限公司

湖南德智新材料有限公司

起草人

宁永铎

孙燕

朱晓彤

康森

潘金平

任殿胜

丁雄杰

刘薇

赵丽丽

张西刚

贺东江

李素青

靳慧洁

孙韫哲

张海英

何凌

沈演凤

廖周芳

赖辉朋

廖家豪

相近标准

GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

YS/T 27-1992 晶片表面微粒沾污测量和计数的方法

GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染

GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

20240410-T-607 家具涂层中重金属元素的快速测定 X射线荧光光谱法

GB/T 42360-2023 表面化学分析 水的全反射X射线荧光光谱分析

SH/T 0934-2016 石油焦中痕量金属元素的测定 波长色散X射线荧光光谱法

YB/T 4907-2021 锰铁、锰硅合金和金属锰 锰、硅、铁、磷含量的测定 波长色散X射线荧光光谱法

GB/T 18043-2013 首饰 贵金属含量的测定 X射线荧光光谱法

GB/T 26050-2024 硬质合金 金属元素含量的测定 X射线荧光光谱法

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微析研究所是先进材料科学、环境环保、生物医药研发及CMC药学研究、一般消费品质量服务、化妆品研究服务、工业品服务和工程质量保证服务的全球检验检测认证 (TIC)服务提供者。微析研究所提供超过25万种分析方法的组合,为客户实现产品或组织的安全性、合规性、适用性以及持续性的综合检测评价服务。微析研究所用精准及时的结果、高质量的创新服务和专业的技术经验,为客户打造独特的分析解决方案和广泛适用的质量保证方法。

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